1.原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

 

　　2.機械過濾：通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質(zhì)，如鐵銹和其他懸浮物等。

 

　　3.活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等；吸附細菌和某些過濾金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應(yīng)力求除盡。

 

　　4.反滲透膜過濾：可濾除95％以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。出于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

 

　　5.紫外線消解：借助于短波（180nm-254 nm）紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉(zhuǎn)變成CO2和水，以降低TOC的指標。

 

　　6.離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級混合床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標主要來自樹脂床。因此高質(zhì)量的離子交換樹脂就成為成功的關(guān)鍵。所謂高質(zhì)量的樹脂，就是化學(xué)穩(wěn)定性特別好，不分解，不含低聚物、單體和添加劑等的樹脂。所謂“核工業(yè)級樹脂”大概就屬于這一類樹脂。對樹脂的要求是質(zhì)量越高越好。可惜國內(nèi)很少有人在這方面下功夫，滿足于生產(chǎn)大路線。

 

　　7.0.2μm濾膜過濾，以除去水中的顆粒物道每毫升1個（小于0.2μm的口經(jīng)過上述各步驟處理后生產(chǎn)出來的水就是超純水了。應(yīng)能滿足各種儀器分析，高純分析，痕量分析等的要求，接近或達到電子級水的要求。